滑閥真空泵同旋片泵一樣，也是一種變?nèi)菔綒怏w傳輸泵，但是
滑閥真空泵和2X旋片真空泵相比，耐用高出好幾倍。其和范圍和使用條件與旋片泵基本相同?；y真空泵由于其結構特點，容量比旋片泵大得多，因此常常被用在大型真空設備上。滑閥泵有單級和雙級兩種型式。單級泵的極限壓力對小泵≤0.6Pa，對大泵≤1.3Pa（均關氣鎮(zhèn)），雙級泵的極限壓力≤0.06Pa（關氣鎮(zhèn)）。目前雙極2H滑閥真空泵zui大抽速為300L/S。
由于
滑閥真空泵的旋轉質量有較大的偏心，如果滑閥沒有很好的質量平衡，在運轉時會產(chǎn)生較大的振動。但泵旋轉質心的運動軌跡是形狀復雜的封閉曲線，因此小廠很難實現(xiàn)對滑閥泵慣性力的*平衡?？梢酝ㄟ^動平衡測試和雙缸或三缸結構做好滑閥的質量平衡。
